ASML称High-NA EUV光刻机已印刷首批图案,并向新客户交付第二台同类设备
近日ASML(阿斯麦)表示,本月将向第二位客户交付High-NAEUV光刻机,安装工作也即将开始。不过ASML并没有透露,具体交付给哪一家公司。其提供0.55数值孔径,与此前配备...
近日ASML(阿斯麦)表示,本月将向第二位客户交付High-NAEUV光刻机,安装工作也即将开始。不过ASML并没有透露,具体交付给哪一家公司。其提供0.55数值孔径,与此前配备...
荷兰阿斯麦公司宣布,他们的首台采用0.55数值孔径投影光学系统的高数值孔径极紫外光刻机已经成功印刷出首批图案,这是整个高数值孔径EUV光刻技术领域的一项重大里程碑。这一成就让人们对...